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四探针测试仪
设备描述
参数
仪器名称：四探针测试仪仪器型号：RTS-8
生产厂家：广州四探针科技
主要配置：四探针测试仪主机、S-2A型探针台、FT-201四探针探头、台式电脑
性能指标：电阻率：10-5～105Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～106Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～105s/cm；
电阻：10-5～105Ω；
可测晶片直径：200mmX200mm
恒流源：电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1%；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
模拟电阻测量相对误差：0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、
主要用途：专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器
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