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四探针测试仪
设备描述
参数
仪器名称:四探针测试仪仪器型号:RTS-8
生产厂家:广州四探针科技
主要配置:四探针测试仪主机、S-2A型探针台、FT-201四探针探头、台式电脑
性能指标:电阻率:10-5~105Ω.cm(可扩展);
方块电阻:10-4~106Ω/□(可扩展);
电导率:10-5~105s/cm;
电阻:10-5~105Ω;
可测晶片直径:200mmX200mm
恒流源:电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1%;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;
模拟电阻测量相对误差:0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、
主要用途:专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器
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